Название продукта: Мишень для распыления скандия
Название продукта: мишень для скандия, сборка мишени для скандия, мишень Sc.
Внешний вид: серебро
Температура плавления: 1541 градус.
Точка кипения: 2836 градусов
Плотность: 2,985 г/см3
Чистота: Sc/TREM Больше или равно 99,99% TREM Больше или равно 99,9%
Density: >99.5%
Средний размер зерна:<500μm
Указанная шероховатость:<2μm
Характеристики: плоская мишень, круглая мишень, вращающаяся мишень (размер может быть изменен в соответствии с требованиями заказчика).
Связывание: пайка индием (метод скрепления и материал задней пластины могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика)
Технические характеристики: ультравакуумное литье, очистка мишени и обработка пластика.
Использование скандиевой мишени:
Мишень для распыления скандия является ключевым материалом для изготовления тонких пленок металлического скандия методом физического осаждения из паровой фазы (PVD). Сборка скандиевой мишени состоит из заготовки скандиевой мишени и задней пластины, спаянных вместе. Заготовка скандиевой мишени представляет собой материал мишени для высокоскоростной бомбардировки ионным пучком и является основной частью мишени для распыления. В процессе нанесения покрытия методом напыления, после того как на заготовку скандиевой мишени воздействуют ионы, атомы скандия на ее поверхности распыляются и осаждаются на подложке. На них изготавливаются электронные тонкие пленки. Поскольку металлический скандий высокой чистоты мягок, для завершения процесса распыления мишень для распыления необходимо установить в специальную машину. Внутри машины находится среда высокого напряжения и высокого вакуума. Следовательно, заготовку скандиевой мишени необходимо соединить с задней пластиной с помощью различных процессов сварки. Задняя пластина в основном играет роль фиксации мишени для распыления, должна иметь хорошую электро- и теплопроводность и обычно изготавливается из меди. Существует четыре широко используемых метода соединения: электронно-лучевая сварка, диффузионная сварка, пайка индием и клеевое соединение. Среди них наибольшее распространение получила индиевая пайка.
Пленки металлического скандия могут быть использованы для изготовления пьезоэлектрических пленок AlScN, которые в настоящее время являются весьма перспективными полупроводниковыми материалами. Пьезоэлектрический пленочный материал AlScN имеет значительные преимущества, такие как высокая скорость звука, хорошая термическая стабильность, широкая запрещенная зона и особенно совместим с КМОП-процессом. В то же время он может преодолеть небольшой пьезоэлектрический коэффициент и коэффициент электромеханической связи пьезоэлектрической пленки нитрида алюминия (AlN). Он имеет важные применения в объемных акустических волнах (BAW), поверхностных акустических волнах (SAW), сборе энергии, ультразвуковом обнаружении и полевых транзисторах. Путем легирования высокого содержания скандия в нитрид алюминия можно значительно улучшить пьезоэлектрические характеристики и коэффициент электромеханической связи радиочастотных устройств. AlScN может заменить материалы из нитрида алюминия в радиочастотных входных фильтрах BAW (FBAR)/SAW 5G и имеет большие перспективы применения в области силовых устройств нового поколения.
In semiconductor chip coating, there are strict requirements on the purity and microstructure of the scandium target. If the impurity content is too high, the formed film will not be able to achieve the required electrical properties for use, and will easily form on the wafer during the sputtering process. Particles are formed on the film, causing short circuit or damage to the circuit, which will seriously affect the performance of the film. The scandium targets produced by HNRE use high-purity scandium raw material Sc/TREM>99.99%. After rolling porcess, the grain size is less than 500μm and the density is>99,5%. Он поставлялся многим всемирно известным полупроводниковым компаниям.
горячая этикетка : Мишень из металлического скандия, Китайские производители мишеней из металлического скандия, поставщики, Редко -земные цели для защиты окружающей среды, Редко -земные цели для цепочки поставок, Редко -земные цели для пользователя оптовика, Редко -земные цели для пользователя физического анализа, Редко -земные цели для повторного использования, Редко -земные цели для пользователя дистрибьютора